液體顆粒計數器在濕電子化學(xué)品等級判定中的應用

1、概念：濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺灣地區的稱(chēng)呼（更為普遍），國際上又稱(chēng)工藝化學(xué)品，我國習慣稱(chēng)其為超凈高純試劑。

2、應用：濕化學(xué)品是超大規模集成電路、平板顯示、太陽(yáng)能電池、晶圓等制作過(guò)程中的關(guān)鍵性基礎化工材料之一。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純，對生產(chǎn)、包裝、運輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求。

3、目的：濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小，越是可以應用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標就是“純凈度"。液體顆粒計數器來(lái)判定濕化學(xué)品的純度等級，以便對應的企業(yè)采購對應級別的產(chǎn)品。

4、檢測儀器：PMT-2 液體顆粒計數器，防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng )新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統，可

對鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測。有0.1、0.2、0.5三個(gè)檢測段的傳感器供選擇。

5、試劑：?jiǎn)嗡釅A、混合液、溶劑類(lèi)。

6、檢測過(guò)程：取一定量溶液；用PMT-2液體顆粒計數器對液樣進(jìn)行檢測，將檢測結果對照電子化學(xué)品SEMI國際標準等級表，來(lái)判定溶液的級別。見(jiàn)下表：

7、結論：目前太陽(yáng)能電池領(lǐng)域僅需要達到G1等級；顯示面板領(lǐng)域一般要求達到G2、G3等級；集成電路領(lǐng)域，8英寸及以下晶圓要求達到G3、G4水平，12英寸晶圓需要達到G5等級。國際上制備G1到G5級濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟，國內大部分企業(yè)已經(jīng)達到國際G3標準，并已開(kāi)展G4標準的研發(fā)工作。